出展者紹介

分野

得意分野・自社の特徴

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  新技術１：電子、イオンビームの計測技術

  エネルギー・時間分布を非破壊・単発で計測
  レーザープラズマ加速器を用いた要素技術
  ・小型ガンマ線非破壊検査装置
  ・フェムト秒EUV光によるレーザー加工装置
  ・過渡現象を測るX線、電子線、イオン計測装置

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  新技術２：軟Ｘ線レーザー表面ナノ加工技術

  サファイア、酸化チタンに、サブナノメートルの深さを持つ加工が可能
  レーザー加工装置の開発企業、表面加工分野への技術展開や超微細パターン描画に関心のある企業との共同研究を希望

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  光音響波による液体の組成分析技術

  溶液の化学組成を非接触でリアルタイムイメージング
  分光測定不能な透明・非透過物質に対応
  非接触非侵襲での組成分布測定や欠陥検査への導入が有効
  高速画像処理、中赤外パルスレーザー企業との共同研究を希望

主な設備（設備/能力/数量）

• 共用装置：J-KAREN-P（高強度チタンサファイアレーザー）
  ・繰り返し10 Hz／0.1 Hz
  ・パルスエネルギー：1 J／10 J
  ・パルス幅: 30 fs
  ・集光強度：10^22 W/cm2
• 共用装置：QUADRA-T（高平均出力Ybレーザー）
  ・繰り返し5 kHz
  ・パルスエネルギー：20 mJ
  ・パルス幅：1 ps
• 共用装置：kHzチタンサファイアレーザー
  ・繰り返し1 kHz
  ・パルスエネルギー：2 mJ
  ・パルス幅：50 fs